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硬質薄膜特性の先端評価システムの開発と利用に関する研究

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硬質薄膜特性の先端評価システムの開発と利用に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H06555034
国立国会図書館書誌ID
000006997298
資料種別
図書
著者
帯川, 利之, 東京工業大学
出版者
-
出版年
1994-1995
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
コウシツ ハクマク トクセイ ノ センタン ヒョウカ システム ノ カイハツ ト リヨウ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
帯川, 利之, 東京工業大学
著者標目
帯川, 利之 オビカワ, トシユキ
出版年月日等
1994-1995
出版年(W3CDTF)
1994
数量
その他のタイトル
研究種目 試験研究(B)
件名標目
硬質薄膜 コウシツハクマク
硬度試験 コウドシケン
微小硬度 ビシヨウコウド
弾塑性有限要素法 ダンソセイユウゲンヨウソホウ
分子動力学 ブンシドウリキガク
コーテイング層 コーテイングソウ
結合層 ケツゴウソウ
圧子 アツシ