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薄膜センサーの開発に関する基礎研究

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薄膜センサーの開発に関する基礎研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H06555050
国立国会図書館書誌ID
000006997313
資料種別
図書
著者
染谷, 常雄, 武蔵工業大学
出版者
-
出版年
1994-1996
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ハクマク センサー ノ カイハツ ニ カンスル キソ ケンキュウ
著者・編者
染谷, 常雄, 武蔵工業大学
著者標目
染谷, 常雄 ソメヤ, ツネオ
出版年月日等
1994-1996
出版年(W3CDTF)
1994
数量
その他のタイトル
研究種目 試験研究(B)
件名標目
薄膜圧力センサー ハクマクアツリヨクセンサー
薄膜ひずみセンサー ハクマクヒズミセンサー
スパツタリング スパツタリング
マンガニン マンガニン
ニツケルクロムアルミ ニツケルクロムアルミ
金クロム キンクロム
内燃機関 ナイネンキカン
油膜圧力 ユマクアツリヨク