薄膜センサーの開発に関する基礎研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 薄膜センサーの開発に関する基礎研究
• タイトルよみ: ハクマク センサー ノ カイハツ ニ カンスル キソ ケンキュウ
• 著者・編者: 染谷, 常雄, 武蔵工業大学
• 著者標目: 染谷, 常雄 ソメヤ, ツネオ
• 出版年月日等: 1994-1996
• 出版年（W3CDTF）: 1994
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 試験研究(B)
• 件名標目: 薄膜圧力センサー ハクマクアツリヨクセンサー; 薄膜ひずみセンサー ハクマクヒズミセンサー; スパツタリング スパツタリング; マンガニン マンガニン; ニツケルクロムアルミ ニツケルクロムアルミ; 金クロム キンクロム; 内燃機関 ナイネンキカン; 油膜圧力 ユマクアツリヨク
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 06555050
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H06555050
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006997313; http://id.ndl.go.jp/bib/000006997313
• 整理区分コード: 214