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弾性表面波を用いた新成膜技術による金属人工格子ヘテロ界面のナノ構造制御

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弾性表面波を用いた新成膜技術による金属人工格子ヘテロ界面のナノ構造制御

国立国会図書館請求記号
Y151-H06555114
国立国会図書館書誌ID
000006997373
資料種別
図書
著者
角田, 匡清, 東北大学
出版者
-
出版年
1994-1995
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ダンセイ ヒョウメンハ オ モチイタ シンセイマク ギジュツ ニ ヨル キンゾク ジンコウ ゴウシ ヘテロ カイメン ノ ナノ コウゾウ セイギョ
著者・編者
角田, 匡清, 東北大学
著者標目
角田, 匡清 ツノダ, マサキヨ
出版年月日等
1994-1995
出版年(W3CDTF)
1994
数量
その他のタイトル
研究種目 試験研究(B)
件名標目
弾性表面波 ダンセイヒヨウメンハ
金属人工格子 キンゾクジンコウコウシ
薄膜 ハクマク
成膜技術 セイマクギジユツ
初期成長過程 シヨキセイチヨウカテイ