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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- パルス CVD ホウ ニ ヨル ウイスカー ノ ケイジョウ オヨビ ソシキ セイギョ
- 著者・編者
- 杉山, 幸三, 愛知工業大学
- 著者標目
- 杉山, 幸三 スギヤマ, コウゾウ
- 出版年月日等
- 1994-1995
- 出版年(W3CDTF)
- 1994
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(C)
- 件名標目
- パルスCVD パルスCVD窒化チタンウイスカー チツカチタンウイスカー炭化ケイ素ウイスカー タンカケイソウイスカーウイスカー広域成長 ウイスカーコウイキセイチヨウ