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火炎CVDによる非酸化物機能性材料の合成

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火炎CVDによる非酸化物機能性材料の合成

国立国会図書館請求記号
Y151-H07455306
国立国会図書館書誌ID
000007003266
資料種別
図書
著者
上山, 惟一, 大阪大学
出版者
-
出版年
1995-1997
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
火炎CVDによる非酸化物機能性材料の合成
タイトルよみ
カエン CVD ニ ヨル ヒサンカブツ キノウセイ ザイリョウ ノ ゴウセイ
著者・編者
上山, 惟一, 大阪大学
著者標目
上山, 惟一 ウエヤマ, コレカズ
出版年月日等
1995-1997
出版年（W3CDTF）
1995
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
火炎CVD カエンCVD
モリブデン モリブデン
非酸化物 ヒサンカブツ
基盤温度 キバンオンド
プロパン プロパン
プロピレン プロピレン