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圧力転写型加工による自律的超精密形状創成の実現のための基礎的研究

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圧力転写型加工による自律的超精密形状創成の実現のための基礎的研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H07455414
国立国会図書館書誌ID
000007003368
資料種別
図書
著者
清野, 慧, 東北大学
出版者
-
出版年
1995-1996
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
アツリョク テンシャガタ カコウ ニ ヨル ジリツテキ チョウセイミツ ケイジョウ ソウセイ ノ ジツゲン ノ タメ ノ キソテキ ケンキュウ
著者・編者
清野, 慧, 東北大学
著者標目
清野, 慧 キヨノ, サトシ
出版年月日等
1995-1996
出版年(W3CDTF)
1995
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
加工 カコウ
計測 ケイソク
自律 ジリツ
形状創成 ケイジヨウソウセイ
圧力転写加工 アツリヨクテンシヤカコウ
弾性レバー ダンセイレバー
圧電アクチユエータ アツデンアクチユエータ
砥粒 トリユウ