圧力転写型加工による自律的超精密形状創成の実現のための基礎的研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 圧力転写型加工による自律的超精密形状創成の実現のための基礎的研究
• タイトルよみ: アツリョク テンシャガタ カコウ ニ ヨル ジリツテキ チョウセイミツ ケイジョウ ソウセイ ノ ジツゲン ノ タメ ノ キソテキ ケンキュウ
• 著者・編者: 清野, 慧, 東北大学
• 著者標目: 清野, 慧 キヨノ, サトシ
• 出版年月日等: 1995-1996
• 出版年（W3CDTF）: 1995
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(B)
• 件名標目: 加工 カコウ; 計測 ケイソク; 自律 ジリツ; 形状創成 ケイジヨウソウセイ; 圧力転写加工 アツリヨクテンシヤカコウ; 弾性レバー ダンセイレバー; 圧電アクチユエータ アツデンアクチユエータ; 砥粒 トリユウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 07455414
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H07455414
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007003368; http://id.ndl.go.jp/bib/000007003368
• 整理区分コード: 214