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微細加工技術を利用したマイクロ光電子増倍管による放射線イメージング法の研究

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微細加工技術を利用したマイクロ光電子増倍管による放射線イメージング法の研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H07458099
国立国会図書館書誌ID
000007004210
資料種別
図書
著者
中沢, 正治, 東京大学
出版者
-
出版年
1995-1996
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ビサイ カコウ ギジュツ オ リヨウ シタ マイクロ コウデンシ ゾウ バイカン ニ ヨル ホウシャセン イメージングホウ ノ ケンキュウ
著者・編者
中沢, 正治, 東京大学
著者標目
中沢, 正治 ナカザワ, マサハル
出版年月日等
1995-1996
出版年(W3CDTF)
1995
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
光電子増倍管 コウデンシゾウバイカン
マイクロマシニング マイクロマシニング
エツチング エツチング
LIGA LIGA
電子増倍 デンシゾウバイ
シリコン シリコン
PMT PMT