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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- マイクロ デンシ ビーム ト 2 ジゲン ヒョウジ ソシガタ デンシ ブンセキキ オ モチイタ キョクショ ヒョウメン カイセキ ソウチ ノ カイハツ
- 著者・編者
- 河野, 省三, 東北大学
- 著者標目
- 河野, 省三 コウノ, ショウゾウ
- 出版年月日等
- 1995-1996
- 出版年（W3CDTF）
- 1995
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 試験研究(B)