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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ゲンシソウ ステップ オ リヨウ シタ ジコ ケイセイタンデンシ ディジタル カイロ ノ シサク
- 著者・編者
- 菅野卓雄, 東洋大学
- 著者標目
- 菅野, 卓雄 スガノ, タクオ
- 出版年月日等
- 1995-1997
- 出版年(W3CDTF)
- 19951997
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(A)
- 件名標目
- 微小傾角基板 ビシヨウケイカクキバン自己形成化現象 ジコケイセイカゲンシヨウ鱗片状ステツプ/テラス構造 リンペンジヨウステツプ/テラスコウゾウ異方性エツチング イホウセイエツチング走査型トンネル顕微鏡 ソウサガタトンネルケンビキヨウ原子間力顕微鏡 ゲンシカンリヨクケンビキヨウ単電子トンネル・トランジスタ タンデンシトンネル・トランジスタ非対称トンネル障壁 ヒタイシヨウトンネルシヨウヘキ