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パルスレーザーを用いるナノレイヤー制御高品質素材合成装置の試作

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パルスレーザーを用いるナノレイヤー制御高品質素材合成装置の試作

国立国会図書館請求記号
Y151-H07555225
国立国会図書館書誌ID
000007004756
資料種別
図書
著者
佐藤, 修彰, 東北大学
出版者
-
出版年
1995-1996
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
パルスレーザーを用いるナノレイヤー制御高品質素材合成装置の試作
タイトルよみ
パルスレーザー オ モチイル ナノレイヤー セイギョ コウヒンシツ ソザイ ゴウセイ ソウチ ノ シサク
著者・編者
佐藤, 修彰, 東北大学
著者標目
著者 ： 佐藤, 修彰 サトウ, ノブアキ ( 00744238 )典拠
東北大学 トウホク ダイガク ( 00305371 )典拠
出版年月日等
1995-1996
出版年（W3CDTF）
1995
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)
件名標目
パルスレーザー パルスレーザー
高品質素材 コウヒンシツソザイ
薄膜 ハクマク
酸化物 サンカブツ
硫化物 リユウカブツ
多層膜 タソウマク