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微小硬度法による多層薄膜の機械的性質の評価システムの確立

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微小硬度法による多層薄膜の機械的性質の評価システムの確立

国立国会図書館請求記号
Y151-H07555351
国立国会図書館書誌ID
000007004875
資料種別
図書
著者
村上, 敬宜, 九州大学
出版者
-
出版年
1995-1996
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ビショウ コウドホウ ニ ヨル タソウ ハクマク ノ キカイテキ セイシツ ノ ヒョウカ システム ノ カクリツ
著者・編者
村上, 敬宜, 九州大学
著者標目
村上, 敬宜, 1943- ムラカミ, ユキタカ, 1943- ( 00153488 )典拠
出版年月日等
1995-1996
出版年(W3CDTF)
1995
数量
その他のタイトル
研究種目 試験研究(B)
件名標目
微小硬度 ビシヨウコウド
多層薄膜 タソウハクマク
機械的性質 キカイテキセイシツ
三角錐圧子 サンカクスイアツシ
弾塑性押込み解析 ダンソセイオシコミカイセキ
ナノインデンター ナノインデンター
AFM AFM
STM STM