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バリア放電エキシマランプの最適化に関する研究

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バリア放電エキシマランプの最適化に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H07558175
国立国会図書館書誌ID
000007005810
資料種別
図書
著者
酒井, 洋輔, 北海道大学
出版者
-
出版年
1995-1997
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
バリア放電エキシマランプの最適化に関する研究
タイトルよみ
バリア ホウデン エキシマランプ ノ サイテキ カ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
酒井, 洋輔, 北海道大学
著者標目
著者 ： 酒井, 洋輔, 1944- サカイ, ヨウスケ, 1944- ( 01240935 )典拠
出版年月日等
1995-1997
出版年（W3CDTF）
1995
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 試験研究(B)
件名標目
エキシマ エキシマ
ランプ ランプ
真空紫外光 シンクウシガイコウ
モデリング モデリング
レーザ分光診断 レーザブンコウシンダン
非平衡プラズマ ヒヘイコウプラズマ