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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ソウサガタ プローブ ケンビキョウ ニ ヨル ソウジョウ ケッショウ ザイリョウ ノ ゲンシ オーダ ノ マモウ ケンキュウ
- 著者・編者
- 三宅, 正二郎, 日本工業大学
- 著者標目
- 三宅, 正二郎, 1947- ミヤケ, ショウジロウ, 1947- ( 00365783 )典拠
- 出版年月日等
- 1995-1996
- 出版年（W3CDTF）
- 1995
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
- 件名標目
- マイクロトライボロジー マイクロトライボロジー原子摩耗 ゲンシマモウ走査型プローブ顕微鏡 ソウサガタプローブケンビキヨウマイカ マイカナノリソグラフイー ナノリソグラフイー