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マイクロマシンにおける微小エネルギ流入・流出現象の解明と集積機構の設計法

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マイクロマシンにおける微小エネルギ流入・流出現象の解明と集積機構の設計法

国立国会図書館請求記号
Y151-H07650180
国立国会図書館書誌ID
000007006947
資料種別
図書
著者
板生清, 東京大学
出版者
-
出版年
1995-1997
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
マイクロマシン ニ オケル ビショウ エネルギ リュウニュウ ・ リュウシュツ ゲンショウ ノ カイメイ ト シュウ セキキコウ ノ セッケイホウ
著者・編者
板生清, 東京大学
著者標目
著者 : 板生, 清, 1942- イタオ, キヨシ, 1942- ( 00170033 )典拠
出版年月日等
1995-1997
出版年(W3CDTF)
1995
1997
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
マイクロマシン マイクロマシン
マイクロエネルギー マイクロエネルギー
振動減衰 シンドウゲンスイ
マイクロダイナミクス マイクロダイナミクス
振動子 シンドウシ
カンチレバー カンチレバー