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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- キョウ ユウデンタイ/ドウデンタイ カイメン ゲンショウ ノ カイセキ ・ セイギョ ト メモリ ソシ ヘ ノ オウヨウ
- 著者・編者
- 清水, 勝, 姫路工業大学
- 著者標目
- 清水, 勝 シミズ, マサル
- 出版年月日等
- 1995-1996
- 出版年(W3CDTF)
- 1995
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(C)
- 件名標目
- IrO2セラミツクターゲツト IRO2セラミツクターゲツトMOCVD法 MOCVDホウPb (Zr, Ti) O3薄膜 PB (ZR, TI) O3ハクマクバリア層 バリアソウSIMS SIMSDLTS法 DLTSホウC-V測定 C-Vソクテイ界面準位 カイメンジユンイ