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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ダイヤモンド ・ ヘテロエピタキシャル セイチョウソウ ニ ヨル タイカンキョウ デンシ デバイス ノ キソ ケントウ
- 著者・編者
- 川原田洋, 早稲田大学
- 著者標目
- 川原田, 洋 カワラダ, ヒロシ
- 出版年月日等
- 1995-1996
- 出版年(W3CDTF)
- 19951996
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(C)
- 件名標目
- ダイヤモンド ダイヤモンドヘテロエピタキシヤル成長 ヘテロエピタキシヤルセイチヨウMESFET MESFETMOSFET MOSFET耐環境電子デバイス タイカンキヨウデンシデバイス論理回路 ロンリカイロマイクロ波プラズマCVD マイクロハプラズマCVDシリコンカーバイト シリコンカーバイト