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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- タンカ シリコン チョウハクマク オ セイコウ ショウヘキソウ ニ モチイル アタラシイ エミツタ コウゾウ ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 佐々木, 公洋, 金沢大学
- 出版年月日等
- 1995-1996
- 出版年(W3CDTF)
- 1995
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
- 件名標目
- ヘテロ接合 ヘテロセツゴウバイポーラトランジスタ バイポーラトランジスタ非晶質SiC ヒシヨウシツSICエピタキシヤル成長 エピタキシヤルセイチヨウSiGe SIGESiC SICECR ECRイオンビームスパツタ イオンビームスパツタ