スパツタによるTiAl系金属間化合物の組成傾斜膜の作成

• 資料種別: 図書
• タイトル: スパツタによるTiAl系金属間化合物の組成傾斜膜の作成
• タイトルよみ: スパツタ ニ ヨル TiAl ケイ キンゾク カン カゴウブツ ノ ソセイ ケイシャマク ノ サクセイ
• 著者・編者: 武田, 文雄, 富山工業高等専門学校
• 著者標目: 武田, 文雄 タケダ, フミオ
• 出版年月日等: 1995-1996
• 出版年（W3CDTF）: 1995
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: ソレノイドコイル ソレノイドコイル; 組成変化 ソセイヘンカ; スパツタ スパツタ; 合金膜 ゴウキンマク; 複合ターゲツト フクゴウターゲツト
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 07650803
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H07650803
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007007328; http://id.ndl.go.jp/bib/000007007328
• 整理区分コード: 214