量子分子動力学による多成分系CVDの反応解析と初期成膜シミユレーシヨン

• 資料種別: 図書
• タイトル: 量子分子動力学による多成分系CVDの反応解析と初期成膜シミユレーシヨン
• タイトルよみ: リョウシ ブンシ ドウリョクガク ニ ヨル タセイブンケイ CVD ノ ハンノウ カイセキ ト ハツ キセイマク シミユレーシヨン
• 著者・編者: 佐藤, 恒之, 九州大学
• 著者標目: 佐藤, 恒之 サトウ, ツネユキ
• 出版年月日等: 1995-1996
• 出版年（W3CDTF）: 1995
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(C)
• 件名標目: CVD CVD; 反応工学 ハンノウコウガク; シミユレーシヨン シミユレーシヨン; モンテカルロ法 モンテカルロホウ; YSZ YSZ; ジルコニア ジルコニア; イツトリア イツトリア
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 07650925
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H07650925
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007007406; http://id.ndl.go.jp/bib/000007007406
• 整理区分コード: 214