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図書

表面波による大面積プラズマの生成とその測定

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表面波による大面積プラズマの生成とその測定

国立国会図書館請求記号
Y151-H07680516
国立国会図書館書誌ID
000007009714
資料種別
図書
著者
野中, 繁彦, 豊田工業大学
出版者
-
出版年
1995-1996
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
表面波による大面積プラズマの生成とその測定
タイトルよみ
ヒョウメンハ ニ ヨル ダイ メンセキ プラズマ ノ セイセイ ト ソノ ソクテイ
著者・編者
野中, 繁彦, 豊田工業大学
著者標目
野中, 繁彦 ノナカ, シゲヒコ
出版年月日等
1995-1996
出版年（W3CDTF）
1995
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
表面波プラズマ ヒヨウメンハプラズマ
大面積 ダイメンセキ
プラズマ密度 プラズマミツド