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マイクロ波Nプラズマを用いたGaNバルク単結晶の育成

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マイクロ波Nプラズマを用いたGaNバルク単結晶の育成

国立国会図書館請求記号
Y151-H07805032
国立国会図書館書誌ID
000007010059
資料種別
図書
著者
甲斐, 綾子, 山口大学
出版者
-
出版年
1995-1996
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
マイクロハ Nプラズマ オ モチイタ GaN バルクタンケッショウ ノ イクセイ
著者・編者
甲斐, 綾子, 山口大学
著者標目
甲斐, 綾子 カイ, アヤコ
出版年月日等
1995-1996
出版年(W3CDTF)
1995
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
窒化ガリウム チツカガリウム
マイクロ波プラズマCVD法 マイクロハプラズマCVDホウ
窒素プラズマ チツソプラズマ
結晶成長 ケツシヨウセイチヨウ
フオトルミネツセンス フオトルミネツセンス
自由励起子 ジユウレイキシ