炭化珪素デバイスの低温製造プロセス技術の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 炭化珪素デバイスの低温製造プロセス技術の開発
• タイトルよみ: タンカ ケイソ デバイス ノ テイオン セイゾウ プロセス ギジュツ ノ カイハツ
• 著者・編者: 中嶋, 堅志郎, 名古屋工業大学
• 著者標目: 中嶋, 堅志郎 ナカシマ, ケンシロウ
• 出版年月日等: 1996-1997
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: 炭化珪素 タンカケイソ; レーザー・プロセス レーザー・プロセス; レーザー・ドープ レーザー・ドープ; Alアルミウニム ALアルミウニム; Wタングステン Wタングステン; オーミツク電極 オーミツクデンキヨク
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 08455143
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H08455143
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007011821; http://id.ndl.go.jp/bib/000007011821
• 整理区分コード: 214