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シリコンカーバイドを用いた集積化インテリジエントガスセンサ

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シリコンカーバイドを用いた集積化インテリジエントガスセンサ

国立国会図書館請求記号
Y151-H08455160
国立国会図書館書誌ID
000007011837
資料種別
図書
著者
勝部, 昭明, 埼玉大学
出版者
-
出版年
1996-1997
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
シリコンカーバイド オ モチイタ シュウセキカ インテリジエントガスセンサ
著者・編者
勝部, 昭明, 埼玉大学
著者標目
勝部, 昭明 カツベ, テルアキ
出版年月日等
1996-1997
出版年(W3CDTF)
1996
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
シリコンカーバイド (SiC) シリコンカーバイド (SIC)
高温ガスセンサ コウオンガスセンサ
NOガスセンサ NOガスセンサ
LAPSガスセンサ LAPSガスセンサ
半導体ガスセンサ ハンドウタイガスセンサ
集積化センサ シユウセキカセンサ