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金属/金属酸化物絶縁体/金属・トンネル接合を用いた新トランジスタ

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金属/金属酸化物絶縁体/金属・トンネル接合を用いた新トランジスタ

国立国会図書館請求記号
Y151-H08455163
国立国会図書館書誌ID
000007011840
資料種別
図書
著者
松村, 英樹, 北陸先端科学技術大学院大学
出版者
-
出版年
1996-1996
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
キンゾク/キンゾク サンカブツ ゼツエンタイ/キンゾク ・ トンネル セツゴウ オ モチイタ シン トランジスタ
著者・編者
松村, 英樹, 北陸先端科学技術大学院大学
著者標目
松村, 英樹 マツムラ, ヒデキ
出版年月日等
1996-1996
出版年(W3CDTF)
1996
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
超微細加工 チヨウビサイカコウ
Ti TI
ナノテクノロジー ナノテクノロジー
Ti酸化物 TIサンカブツ
MITT MITT
陽極酸化 ヨウキヨクサンカ