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高効率太陽電池の低コスト生産のための原料リサイクルを伴うCVDプロセスの構築

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高効率太陽電池の低コスト生産のための原料リサイクルを伴うCVDプロセスの構築

国立国会図書館請求記号
Y151-H08555186
国立国会図書館書誌ID
000007013415
資料種別
図書
著者
小宮山, 宏, 東京大学
出版者
-
出版年
1995-1997
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
コウコウリツ タイヨウ デンチ ノ テイコスト セイサン ノ タメ ノ ゲンリョウ リサイクル オ トモナウ CVD プロセス ノ コウチク
著者・編者
小宮山, 宏, 東京大学
著者標目
著者 : 小宮山, 宏, 1944- コミヤマ, ヒロシ, 1944- ( 00215918 )典拠
出版年月日等
1995-1997
出版年(W3CDTF)
1995
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)
件名標目
太陽電池 タイヨウデンチ
ケミカル・ベイパー・デポジシヨン ケミカル・ベイパー・デポジシヨン
原料リサイクル ゲンリヨウリサイクル
クロロシラン類 クロロシランルイ
多結晶シリコン タケツシヨウシリコン
エツチング エツチング