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シリコン/ゲルマニウム系半導体のサブ原子層単位成長デイジタルエピタキシー

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シリコン/ゲルマニウム系半導体のサブ原子層単位成長デイジタルエピタキシー

国立国会図書館請求記号
Y151-H08650369
国立国会図書館書誌ID
000007014829
資料種別
図書
著者
須田, 良幸, 東京農工大学
出版者
-
出版年
1996-1997
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
シリコン/ゲルマニウムケイ ハンドウタイ ノ サブ ゲンシソウ タンイ セイチョウ デイジタルエピタキシー
著者・編者
須田, 良幸, 東京農工大学
著者標目
須田, 良幸 スダ, ヨシユキ
出版年月日等
1996-1997
出版年(W3CDTF)
1996
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
原子層エピタキシー ゲンシソウエピタキシー
エピタキシー エピタキシー
シリコン シリコン
自己停止 ジコテイシ
レーザー励起 レーザーレイキ
マイグレーシヨン マイグレーシヨン
デイジタルエピタキシー デイジタルエピタキシー
ジシラン ジシラン