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無電解めっきによるマイクロバンプの作製

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無電解めっきによるマイクロバンプの作製

国立国会図書館請求記号
Y151-H08650855
国立国会図書館書誌ID
000007015139
資料種別
図書
著者
本間, 英夫, 関東学院大学
出版者
-
出版年
1996-1997
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
無電解めっきによるマイクロバンプの作製
タイトルよみ
ムデンカイメッキ ニ ヨル マイクロバンプ ノ サクセイ
著者・編者
本間, 英夫, 関東学院大学
著者標目
著者 ： 本間, 英夫 ホンマ, ヒデオ ( 01057325 )典拠
出版年月日等
1996-1997
出版年（W3CDTF）
1996
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
無電解ニツケルめっき ムデンカイニツケルメツキ
無電解銅めっき ムデンカイドウメツキ
初期析出 シヨキセキシユツ
in-situ測定 IN-SITUソクテイ
バンプ バンプ
DMAB DMAB
ビアホール ビアホール
微細銅パターン ビサイドウパターン