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化学反応を用いたアトムリソグラフイー

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化学反応を用いたアトムリソグラフイー

国立国会図書館請求記号
Y151-H08834002
国立国会図書館書誌ID
000007017638
資料種別
図書
著者
田中, 虔一, 東京大学
出版者
-
出版年
1996-1997
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
カガク ハンノウ オ モチイタ アトムリソグラフイー
著者・編者
田中, 虔一, 東京大学
著者標目
田中, 虔一 タナカ, ケイイチ
出版年月日等
1996-1997
出版年(W3CDTF)
1996
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
STM STM
ナノ構造 ナノコウゾウ
アトムリソグラフイー アトムリソグラフイー
Cu (100) CU (100)
サーフアクタント成長 サーフアクタントセイチヨウ
Niの量子ドツト NIノリヨウシドツト
Niの量子細線 NIノリヨウシサイセン