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図書
大気圧プラズマ中の高密度活性原子による除染
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大気圧プラズマ中の高密度活性原子による除染
国立国会図書館請求記号
Y151-H09480097
国立国会図書館書誌ID
000007018729
資料種別
図書
著者
鈴木, 正昭, 東京工業大学
出版者
-
出版年
1997-1998
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記
一般注記:
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
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書誌情報
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紙
資料種別
図書
タイトル
大気圧プラズマ中の高密度活性原子による除染
タイトルよみ
タイキアツ プラズマ チュウ ノ コウミツド カッセイ ゲンシ ニ ヨル ジョセン
著者・編者
鈴木, 正昭, 東京工業大学
著者標目
鈴木, 正昭
スズキ, マサアキ
出版年月日等
1997-1998
出版年(W3CDTF)
1997
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
除染
ジヨセン
エツチング
エツチング
プラズマ処理
プラズマシヨリ
NDLC
Y151
一般注記
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号
09480097
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
Y151-H09480097
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000007018729
http://id.ndl.go.jp/bib/000007018729
整理区分コード
214
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