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シリサイドフラツクス法による大型β-SiC単結晶の育成

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シリサイドフラツクス法による大型β-SiC単結晶の育成

国立国会図書館請求記号
Y151-H09555211
国立国会図書館書誌ID
000007018916
資料種別
図書
著者
乾, 晴行, 京都大学
出版者
-
出版年
1997-1998
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
シリサイドフラツクスホウ ニ ヨル オオガタ b-SiC タンケッショウ ノ イクセイ
著者・編者
乾, 晴行, 京都大学
著者標目
著者 : 乾, 晴行, 1961- イヌイ, ハルユキ, 1961- ( 00973750 )典拠
出版年月日等
1997-1998
出版年(W3CDTF)
1997
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
フラツクス法 フラツクスホウ
SiC SIC
ポリタイプ ポリタイプ
遷移金属シリサイド センイキンゾクシリサイド
チヨクラルスキー (CZ) 法 チヨクラルスキー (CZ) ホウ
高分解能電子顕微鏡法 コウブンカイノウデンシケンビキヨウホウ
EDS分析 EDSブンセキ
収束電子線回折 シユウソクデンシセンカイセツ