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窒素グロー放電プラズマを利用する窒化アルミニウムの迅速合成プロセスの研究

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窒素グロー放電プラズマを利用する窒化アルミニウムの迅速合成プロセスの研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H09555226
国立国会図書館書誌ID
000007018921
資料種別
図書
著者
明石, 和夫, 東京理科大学
出版者
-
出版年
1997-1998
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
チッソ グロー ホウデン プラズマ オ リヨウ スル チッカ アルミニウム ノ ジンソク ゴウセイ プロセス ノ ケンキュウ
著者・編者
明石, 和夫, 東京理科大学
著者標目
明石, 和夫 アカシ, カズオ
出版年月日等
1997-1998
出版年(W3CDTF)
1997
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
窒化アルミニウム チツカアルミニウム
窒素グロー放電プラズマ チツソグローホウデンプラズマ
バルク状 バルクジヨウ
繊維状物質 センイジヨウブツシツ
窒化率 チツカリツ
水素プラズマ前処理 スイソプラズママエシヨリ
残留ガス分析 ザンリユウガスブンセキ
酸化皮膜除去 サンカヒマクジヨキヨ