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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ヒカ ガリウム キバン ジョウ ノ チッカ ガリウム ハクマク ケッショウ ノ フカサ ホウコウ ブンカイ Xセン サンラン トポグラフイ
- 著者・編者
- 鈴木, 芳文, 九州工業大学
- 著者標目
- 鈴木, 芳文 スズキ, ヨシフミ
- 出版年月日等
- 1997-1998
- 出版年（W3CDTF）
- 1997
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
- 件名標目
- X線散乱トポグラフ Xセンサンラントポグラフ格子不整系半導体エピタキシヤル膜 コウシフセイケイハンドウタイエピタキシヤルマク窒化ガリウム チツカガリウム計算機シミユレーシヨン ケイサンキシミユレーシヨン深さ分解トポグラフ フカサブンカイトポグラフ