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圧電素子ヒステリシス補償による6自由度超高精度微動台の開発

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圧電素子ヒステリシス補償による6自由度超高精度微動台の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H09650161
国立国会図書館書誌ID
000007020034
資料種別
図書
著者
久曽神, 煌, 長岡技術科学大学
出版者
-
出版年
1997-1998
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
アツデン ソシ ヒステリシス ホショウ ニ ヨル 6 ジユウド チョウコウセイド ビドウダイ ノ カイハツ
著者・編者
久曽神, 煌, 長岡技術科学大学
著者標目
著者 : 久曽神, 煌, 1944- キュウソジン, アキラ, 1944- ( 00734012 )典拠
出版年月日等
1997-1998
出版年(W3CDTF)
1997
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
圧電素子 アツデンソシ
アクチユエータ アクチユエータ
高精度位置決め機構 コウセイドイチギメキコウ
オープンループ制御 オープンループセイギヨ
ヒステリシス非線形性 ヒステリシスヒセンケイセイ
多項式近似 タコウシキキンジ
線形化 センケイカ
反転電圧値 ハンテンデンアツチ