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立方晶窒化ホウ素膜の応用に関する研究

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立方晶窒化ホウ素膜の応用に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H09650169
国立国会図書館書誌ID
000007020038
資料種別
図書
著者
渡部修一, 日本工業大学
出版者
-
出版年
1997-1998
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
立方晶窒化ホウ素膜の応用に関する研究
タイトルよみ
リッポウショウ チッカ ホウソマク ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
渡部修一, 日本工業大学
著者標目
渡部, 修一 ワタナベ, シュウイチ
出版年月日等
1997-1998
出版年（W3CDTF）
1997
1998
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
立方晶室化ホウ素 リツポウシヨウシツカホウソ
薄膜 ハクマク
イオンプレーテイング イオンプレーテイング
イオン注入 イオンチユウニユウ
トライボロジー トライボロジー
積層膜 セキソウマク
保護膜 ホゴマク
被覆工具 ヒフクコウグ