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図書
高品質極薄Si系絶縁膜の低温形成と機能評価に関する研究
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高品質極薄Si系絶縁膜の低温形成と機能評価に関する研究
国立国会図書館請求記号
Y151-H09650363
国立国会図書館書誌ID
000007020179
資料種別
図書
著者
中島, 寛, 九州大学
出版者
-
出版年
1997-1998
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記
一般注記:
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
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書誌情報
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紙
資料種別
図書
タイトル
高品質極薄Si系絶縁膜の低温形成と機能評価に関する研究
タイトルよみ
コウヒンシツ ゴクウス Si ケイ ゼツエンマク ノ テイオン ケイセイ ト キノウ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
中島, 寛, 九州大学
著者標目
中島, 寛
ナカシマ, ヒロシ
出版年月日等
1997-1998
出版年(W3CDTF)
1997
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
シリコン
シリコン
極薄絶縁膜
ゴクウスゼツエンマク
ECRプラズマ
ECRプラズマ
低温薄膜形成
テイオンハクマクケイセイ
電気的機能性
デンキテキキノウセイ
スパツタリング
スパツタリング
NDLC
Y151
一般注記
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号
09650363
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
Y151-H09650363
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000007020179
http://id.ndl.go.jp/bib/000007020179
整理区分コード
214
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