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電子シヤワー法による透明導電性ITO薄膜の環境材料への応用

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電子シヤワー法による透明導電性ITO薄膜の環境材料への応用

国立国会図書館請求記号
Y151-H09650738
国立国会図書館書誌ID
000007020418
資料種別
図書
著者
湯本, 久美, 東京理科大学
出版者
-
出版年
1997-1998
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
デンシ シヤワーホウ ニ ヨル トウメイ ドウデンセイ ITO ハクマク ノ カンキョウ ザイリョウ ヘ ノ オウヨウ
著者・編者
湯本, 久美, 東京理科大学
著者標目
湯本, 久美 ユモト, ヒサミ
出版年月日等
1997-1998
出版年(W3CDTF)
1997
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
NO2ガスセンサー NO2ガスセンサー
窒素酸化物 チツソサンカブツ
光触媒 ヒカリシヨクバイ
ITO ITO
酸化亜鉛 サンカアエン
めっき メツキ
薄膜 ハクマク
スパツタ スパツタ