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光アシストプロセスによるゾルーゲル薄膜の高機能化と微細パターニング

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光アシストプロセスによるゾルーゲル薄膜の高機能化と微細パターニング

国立国会図書館請求記号
Y151-H09650930
国立国会図書館書誌ID
000007020560
資料種別
図書
著者
峠, 登, 近畿大学
出版者
-
出版年
1997-1998
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ヒカリ アシストプロセス ニ ヨル ゾルーゲル ハクマク ノ タカバタ ノウゲ ト ビサイ パターニング
著者・編者
峠, 登, 近畿大学
著者標目
峠, 登 トウゲ, ノボル
出版年月日等
1997-1998
出版年(W3CDTF)
1997
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
ゾルーゲル法 ゾルーゲルホウ
化学修飾 カガクシユウシヨク
光感応性 ヒカリカンノウセイ
微細パターニング ビサイパターニング
薄膜 ハクマク
選択着色 センタクチヤクシヨク
光アシストプロセス ヒカリアシストプロセス