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MBE法による3C-SiCの作成とそのミリ波デバイスへの応用

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MBE法による3C-SiCの作成とそのミリ波デバイスへの応用

国立国会図書館請求記号
Y151-S60460118
国立国会図書館書誌ID
000007023725
資料種別
図書
著者
金田, 重男, 長岡技術科学大学
出版者
-
出版年
1985-1987
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
MBE ホウ ニ ヨル 3C-SiC ノ サクセイ ト ソノ ミリハ デバイス ヘ ノ オウヨウ
著者・編者
金田, 重男, 長岡技術科学大学
著者標目
金田, 重男 カネダ, シゲオ
出版年月日等
1985-1987
出版年(W3CDTF)
1985
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
分子線エピタキシー (MBE) ブンシセンエピタキシー (MBE)
SiC単結晶 SICタンケツシヨウ
結晶評価 ケツシヨウヒヨウカ
マイクロ波 (ミリ波) 半導体デバイス マイクロハ (ミリハ) ハンドウタイデバイス