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分子層エピタキシヤル法による単結晶サフアイア薄膜の集積回路素子応用への基礎的研究

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分子層エピタキシヤル法による単結晶サフアイア薄膜の集積回路素子応用への基礎的研究

国立国会図書館請求記号
Y151-S61460121
国立国会図書館書誌ID
000007026827
資料種別
図書
著者
大矢, 銀一郎, 東北大学
出版者
-
出版年
1986-1987
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ブンシソウ エピタキシヤルホウ ニ ヨル タンケッショウ サフアイア ハクマク ノ シュウセキ カイロ ソシ オウヨウ ヘ ノ キソテキ ケンキュウ
著者・編者
大矢, 銀一郎, 東北大学
著者標目
大矢, 銀一郎 オオヤ, ギンイチロウ
出版年月日等
1986-1987
出版年(W3CDTF)
1986
数量
件名標目
分子層エピタキシー ブンシソウエピタキシー
サフアイア薄膜 サフアイアハクマク
化学吸着 カガクキユウチヤク
ジヨセフソン接合素子 ジヨセフソンセツゴウソシ
表面反応 ヒヨウメンハンノウ
集積回路 シユウセキカイロ
絶縁体 ゼツエンタイ
NDLC