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走査電子顕微鏡による表面形状の測定機能向上に関する研究

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走査電子顕微鏡による表面形状の測定機能向上に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-S61850023
国立国会図書館書誌ID
000007029320
資料種別
図書
著者
佐藤, 壽芳, 東京大学
出版者
-
出版年
1986-1987
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ソウサ デンシ ケンビキョウ ニ ヨル ヒョウメン ケイジョウ ノ ソクテイ キノウ コウジョウ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
佐藤, 壽芳, 東京大学
著者標目
佐藤, 壽芳 サトウ, ヒサヨシ
出版年月日等
1986-1987
出版年(W3CDTF)
1986
数量
件名標目
走査電子顕微鏡 ソウサデンシケンビキヨウ
機械加工 キカイカコウ
反射電子信号 ハンシヤデンシシンゴウ
表面形状 ヒヨウメンケイジヨウ
法線検出 ホウセンケンシユツ
画像処理 ガゾウシヨリ
パーソナルコンピユータ パーソナルコンピユータ
ヴイツカース圧痕形状 ヴイツカースアツコンケイジヨウ
加速電圧 カソクデンアツ
検出器・試料間距離 ケンシユツキ・シリヨウカンキヨリ
NDLC