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プロセス用直流高エネルギープラズマ発生装置の開発と応用に関する研究

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プロセス用直流高エネルギープラズマ発生装置の開発と応用に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-S61850048
国立国会図書館書誌ID
000007029342
資料種別
図書
著者
堺孝夫, 武蔵工業大学
出版者
-
出版年
1986-1988
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
プロセスヨウ チョクリュウ コウエネルギープラズマ ハッセイ ソウチ ノ カイハツ ト オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
堺孝夫, 武蔵工業大学
著者標目
堺, 孝夫 サカイ, タカオ
出版年月日等
1986-1988
出版年(W3CDTF)
1986
1988
数量
その他のタイトル
研究種目 奨励研究(B)
件名標目
低気圧放電 テイキアツホウデン
直流放電 チヨクリユウホウデン
シミユレーシヨン シミユレーシヨン
プラズマ処理 プラズマシヨリ
表面処理 ヒヨウメンシヨリ
接触角 セツシヨクカク
PTFE PTFE
表面エネルギー ヒヨウメンエネルギー