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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトル
- タイトルよみ
- コウタイショク アモルフアス ヒョウメン ゴウキン ノ サクセイ
- 著者・編者
- 橋本, 功二, 東北大学
- 著者標目
- 著者 ： 橋本, 功二, 1935- ハシモト, コウジ, 1935- ( 001343990 )典拠
- 出版年月日等
- 1986-1988
- 出版年（W3CDTF）
- 1986
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 奨励研究(B)
- 件名標目
- アモルフアス合金 アモルフアスゴウキンアモルフアス表面合金 アモルフアスヒヨウメンゴウキン無欠陥表面合金 ムケツカンヒヨウメンゴウキンクリーンルーム クリーンルームスパツター法 スパツターホウスパツター用ターゲツト スパツターヨウターゲツトスパツター用基板 スパツターヨウキバン耐食性 タイシヨクセイ