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制御プラズマによる機能性セラミツク・コーテイング材料の合成と表面改質

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制御プラズマによる機能性セラミツク・コーテイング材料の合成と表面改質

国立国会図書館請求記号
Y151-S62430015
国立国会図書館書誌ID
000007029994
資料種別
図書
著者
山科, 俊郎, 北海道大学
出版者
-
出版年
1987-1990
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
セイギョ プラズマ ニ ヨル キノウセイ セラミツク ・ コーテイング ザイリョウ ノ ゴウセイ ト ヒョウメン カイシツ
著者・編者
山科, 俊郎, 北海道大学
著者標目
山科, 俊郎 ヤマシナ, トシロウ
出版年月日等
1987-1990
出版年(W3CDTF)
1987
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(A)
件名標目
プラズマ プラズマ
セラミツクス セラミツクス
表面改質 ヒヨウメンカイシツ
薄膜 ハクマク
プラズマ診断 プラズマシンダン
プラズマ窒化 プラズマチツカ
ガス窒化 ガスチツカ
発光スペクトル ハツコウスペクトル