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シンクロトロン放射光励起によるアモルフアス薄膜形成とその評価

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シンクロトロン放射光励起によるアモルフアス薄膜形成とその評価

国立国会図書館請求記号
Y151-S62460120
国立国会図書館書誌ID
000007030276
資料種別
図書
著者
吉田, 明, 豊橋技術科学大学
出版者
-
出版年
1987-1988
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
シンクロトロン ホウシャコウレイキ ニ ヨル アモルフアス ハクマク ケイセイ ト ソノ ヒョウカ
著者・編者
吉田, 明, 豊橋技術科学大学
著者標目
吉田, 明 ヨシダ, アキラ
出版年月日等
1987-1988
出版年(W3CDTF)
1987
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
シンクロトロン放射光 シンクロトロンホウシヤコウ
水素化アモルフアスカーボン スイソカアモルフアスカーボン
水素化アモルフアスシリコン スイソカアモルフアスシリコン
マイクロ波励起水素放電管 マイクロハレイキスイソホウデンカン
真空紫外光 シンクウシガイコウ