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表面進行波を利用した極微細線加工法に関する基礎的研究

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表面進行波を利用した極微細線加工法に関する基礎的研究

国立国会図書館請求記号
Y151-S62550093
国立国会図書館書誌ID
000007031379
資料種別
図書
著者
森, 敏彦, 名古屋大学
出版者
-
出版年
1987-1988
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ヒョウメン シンコウハ オ リヨウ シタ ゴク ビサイセン カコウホウ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
著者・編者
森, 敏彦, 名古屋大学
著者標目
森, 敏彦, 1946- モリ, トシヒコ, 1946- ( 00274161 )典拠
出版年月日等
1987-1988
出版年(W3CDTF)
1987
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
表面進行波 ヒヨウメンシンコウハ
引抜き ヒキヌキ
インピーダンス整合 インピーダンスセイゴウ
微細線加工 ビサイセンカコウ