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半導体ヘテロ接合界面のひずみ分布評価システムの開発

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半導体ヘテロ接合界面のひずみ分布評価システムの開発

国立国会図書館請求記号
Y151-S62850002
国立国会図書館書誌ID
000007032880
資料種別
図書
著者
西野, 種夫, 神戸大学
出版者
-
出版年
1987-1988
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
半導体ヘテロ接合界面のひずみ分布評価システムの開発
タイトルよみ
ハンドウタイ ヘテロ セツゴウ カイメン ノ ヒズミ ブンプ ヒョウカ システム ノ カイハツ
著者・編者
西野, 種夫, 神戸大学
著者標目
西野, 種夫 ニシノ, タネオ
出版年月日等
1987-1988
出版年（W3CDTF）
1987
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 奨励研究(B)
件名標目
半導体ヘテロ接合 ハンドウタイヘテロセツゴウ
界面ひずみ カイメンヒズミ
不純物発光 フジユンブツハツコウ