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SOI結晶の高品質化に関する新技術の開発

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SOI結晶の高品質化に関する新技術の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-S62850052
国立国会図書館書誌ID
000007032920
資料種別
図書
著者
西永, 頌, 東京大学
出版者
-
出版年
1987-1989
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
SOI ケッショウ ノ コウヒンシツカ ニ カンスル シン ギジュツ ノ カイハツ
著者・編者
西永, 頌, 東京大学
著者標目
著者 : 西永, 頌, 1939- ニシナガ, タタウ, 1939- ( 00137783 )典拠
出版年月日等
1987-1989
出版年(W3CDTF)
1987
数量
その他のタイトル
研究種目 奨励研究(B)
件名標目
Si SI
GaAs GAAS
LPE LPE
横方向成長 ヨコホウコウセイチヨウ
SOI SOI