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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ヒカリ CVD ホウ ニ ヨル Si ノ テイオン エピタキシャル セイチョウホウ ノ カイハツ
- 著者・編者
- 小長井誠, 東京工業大学
- 著者標目
- 著者 ： 小長井, 誠, 1949- コナガイ, マコト, 1949- ( 00116569 )典拠
- 出版年月日等
- 1987-1988
- 出版年（W3CDTF）
- 19871988
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 奨励研究(B)