新機能性五酸化タンタル薄膜の作成とその通信素子への応用

• 資料種別: 図書
• タイトル: 新機能性五酸化タンタル薄膜の作成とその通信素子への応用
• タイトルよみ: シン キノウセイ ゴ サンカ タンタル ハクマク ノ サクセイ ト ソノ ツウシン ソシ ヘ ノ オウヨウ
• 著者・編者: 中川, 恭彦, 山梨大学
• 著者標目: 中川, 恭彦 ナカガワ, ヤスヒコ
• 出版年月日等: 1988-1989
• 出版年（W3CDTF）: 1988
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(B)
• 件名標目: 弾性表面波 ダンセイヒヨウメンハ; 五酸化タンタル 5サンカタンタル; 強弾性 キヨウダンセイ; 圧電性薄膜 アツデンセイハクマク
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 63460116
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-S63460116
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007033867; http://id.ndl.go.jp/bib/000007033867
• 整理区分コード: 214