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有機化合物(アルコール系)を用いたCVD法によるダイヤモンド薄膜の高速成長

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有機化合物(アルコール系)を用いたCVD法によるダイヤモンド薄膜の高速成長

国立国会図書館請求記号
Y151-S63550020
国立国会図書館書誌ID
000007034943
資料種別
図書
著者
広瀬, 洋一, 日本工業大学
出版者
-
出版年
1988-1989
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ユウキ カゴウブツ(アルコールケイ) オ モチイタ CVD ホウ ニ ヨル ダイヤモンド ハクマク ノ コウソク セイチョウ
著者・編者
広瀬, 洋一, 日本工業大学
著者標目
広瀬, 洋一 ヒロセ, ヨウイチ
出版年月日等
1988-1989
出版年(W3CDTF)
1988
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
ダイヤモンド薄膜 ダイヤモンドハクマク
CVD法 CVDホウ
有機化合物 ユウキカゴウブツ
アルコール アルコール
高速成長 コウソクセイチヨウ
光励起CVD ヒカリレイキCVD
アーク放電プラズマ アークホウデンプラズマ